一、什麽是磁懸浮分子泵

磁（cí）懸浮分子泵是一種利用磁懸浮技術將轉子懸浮於磁（cí）場中的真空泵。它通過高速旋轉的轉（zhuǎn）子與定子之間的分子碰撞，逐級將氣體分子從真空腔體抽出。由於沒有機械接（jiē）觸，磁懸浮分（fèn）子泵（bèng）具有無摩擦、無汙染、低維護和高可靠性的特（tè）點，廣泛應用於（yú）半導體製造、光學鍍膜、科研實驗等需要超高真空的領域。

二、磁懸浮（fú）分子泵有什麽（me）優點

• 無摩擦運行：轉子懸浮在磁（cí）場中，無機械接觸，減少磨損，延長使用壽命。

• 超潔淨真空：無油潤滑，無顆粒或油蒸氣汙染，適用於高潔淨（jìng）度要求的場（chǎng）合。

• 低維護成本：無需更換軸承或潤滑（huá）油，減少維護頻（pín）率和成本。

• 低振動和（hé）噪音：運行平穩，對精密應用友好。

• 高轉速性能：轉速更高，抽速更快，極限壓力更低。

• 高可靠性：實時（shí）監（jiān）控運行狀態，穩定性強。

• 環保性：無潤滑油（yóu）汙染，更環保。

三、磁懸浮分子泵的選型指南

（1）抽速要求（qiú）

小型實驗室設備（bèi）：抽（chōu）速一般在 50–300 L/s。

半導體設備或工業用途：需要更高抽速，如（rú） 500–3000 L/s。

氣體種類：針對輕質氣體（如氫、氦）或高分子量氣體，需選擇適合的分子泵。

（2）極限真（zhēn）空要求

超高真空應用：極限壓力需達到 10⁻⁷ Pa 或更（gèng）低（dī）。

普通高真空：極（jí）限壓力為 10⁻⁴ Pa 左右即可滿足需求。

殘留（liú）氣體要求：選擇無油或低汙染的磁懸浮分子泵以避免影響真空純度（dù）。

（3）腔體體積與抽速匹配

容積大小計算：確定腔體體積與抽速匹配（pèi）時間，保證泵能在所需時（shí）間內達到目標真空度。

（4）氣體流量

確保泵能夠承受工藝中產生的氣（qì）體流量。

腐蝕（shí）性或特殊氣體處理：選用（yòng）耐腐蝕設（shè）計的磁懸浮分子泵。

（5）結構與安裝方式

法蘭接口類型：選（xuǎn）擇適合的法蘭（lán）接（jiē）口（ISO-KF、ISO-F、CF）。

安裝方向：確認泵的安裝是否支持垂直或水（shuǐ）平方向。

冷卻方式：可選擇風冷（lěng）或水冷，視環境條件而定（dìng）。